截至2025年8月4日 13点15分，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.72%，成分股富创精密上涨6.20%，京仪装备上涨3.07%，晶升股份上涨2.35%，和林微纳上涨2.01%，中芯国际上涨1.90%。科创半导体ETF（588170）上涨0.47%，最新价报1.06元。
规模方面，科创半导体ETF最新规模达4.09亿元，创近3月新高。
份额方面，科创半导体ETF最新份额达3.89亿份，创近3月新高。
从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近8天获得连续资金净流入，最高单日获得1.18亿元净流入，合计“吸金”1.57亿元，日均净流入达1958.74万元。
公开信息显示，科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。
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